三坐標測量儀是高精密的測量儀器，所以測量結果是否精準是三坐標測量機檢測的關鍵，但在三坐標測量儀在使用過程中，有很多因素影響了三坐標測量儀的測量結果：
一、壓縮空氣
由于許多測量儀使用了精密的空氣軸承而需要壓縮空氣，應當防止由于水和油浸入壓縮空氣對三坐標測量儀空氣軸承和導軌產生損害.
二、溫度
測量的主要環境因素是溫度,必須滿足三坐標測量儀正常工作所需要的溫度條件(至于溫度條件, 對測量結果基于標準溫度20 C進行修正).所以在溫度條件不足的情況下,需要加裝其它設備,以保證三坐標測量儀的正常工作.。
三、濕度
機房的濕度直接影響到三坐標測量儀零件和電氣系統的安全，必須滿足所需要的濕度條件。
四、振動
由于較多的三坐標測量儀是應用在生產現場，振動成為一個經常性的問題。比如沖壓機、空壓機、或其他重型設備在三坐標的周圍將會對測量儀產生嚴重影響。較難察覺的是小幅振動，如果同三坐標測量儀自身的振動頻率相混淆，對于測量精度也會產生較大影響。因此，三坐標制造商對于測量環境的振動頻率與振幅都有一定的要求。
五、供電電源
為保證控制系統和計算機系統以及同外部聯網的良好運作,對于供電電源有一定的要求:電源電壓變化,頻率要求以及接地裝置,屏蔽裝置的要求等（供電電源要求：以廠商給出的說明書為標準）。
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